Beschichtete Werkzeuge sind widerstandsfähiger, langlebiger und führen zu einem höheren wirtschaftlichen Nutzen. Für beste Ergebnisse der Verschleißbeschichtung ist ein hochwertiges Vakuum unabdingbar. Der erzeugte Unterdruck sorgt dafür, dass die Targetatome das Substrat erreichen, ohne mit anderen Gasteilchen zu kollidieren. Über Vakuum und Temperatur wird der Prozessablauf definiert, der sicherstellt, dass der Zielwerkstoff das Substrat erreicht und darauf auch haftet. Damit die Beschichtung nicht durch andere Substanzen beeinträchtigt wird, sorgt das Vakuum für eine Reduzierung der Fremdpartikel in der Prozesskamer. Die Vakuumanwendung ist somit das Herzstück der Beschichtungsanlage. Ein optimal ausgelegtes Vakuumsystem trägt dazu bei, dass maximale Chargen gefahren werden können, dass der Prozess ausfallsicher ist und die Wartung der einzelnen Komponenten auf ein Minimum beschränkt ist.
Mit der langjährigen Erfahrung von Pfeiffer Vacuum und unserem breiten Produktportfolio sind Sie gut beraten. Das Portfolio umfasst Wälzkolbenpumpstände sowie einzelne Drehschieber-, Schrauben- und Wälzkolbenpumpen. Um ein niedrigeres Druckniveau zu erreichen, werden Turbopumpen, die für staubige Anwendungen geeignet sind, eingesetzt. Darüber hinaus erhalten Sie für Ihre Prozesse die entsprechenden Druckmessgeräte und auch Lecksucher.
Unsere Spezialisten bei Pfeiffer Vacuum beraten Sie umfassend bei der optimalen Auslegung Ihres Vakuumsystems.
