von Dipl.-Physiker Gernot Hamann, Business Development Manager für Mikroskopie bei Physik Instrument (PI) und Ellen-Christine Reiff, M.A., Redaktionsbüro Stutensee
Bild 1: Die flächenhaft messenden µsurf-Systeme arbeiten in vertikaler Richtung mit Auflösungen bis zu 1 nm, lateral mit bis zu 300 nm. Hier die im Frühjahr 2014 eingeführte Produktneuheit µsurf expert. (Foto: NanoFocus)
Bei Oberflächeninspektionen, die heute in vielen Bereichen unerlässlich sind, geht der Trend zu immer kleineren Strukturen, die es bis zu Nanometergenauigkeit abzubilden bzw. aufzulösen gilt. Optische Messverfahren als berührungslose und zerstörungsfreie Analyse- und Prüfmethoden sind für viele Anwendungen das Mittel der Wahl, da sie auf nahezu allen Materialien einsetzbar sind und sich auch für empfindliche Proben eignen. Hochgenaue konfokale Abbildungsprinzipien können die Probentopografie und Rauheitsstrukturen nicht nur qualitativ, sondern auch quantitativ übereinstimmend mit taktilen Messverfahren darstellen, die in vielen Industrienormen beschrieben sind. Piezobasierte Positioniersysteme leisten dazu einen nicht unerheblichen Beitrag. Weiterlesen